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主要技術(shù)參數(shù)如下：

一、定量位置：

1、應力測量范圍 ：560nm（一級干涉色）以下

2、全波片光程差 ：560nm

3、檢偏鏡通光口徑：φ150mm

4、臺面玻璃通光口徑：φ220mm

5、可測量樣品最大高度 ：250mm

6、測量誤差 ：<0.5°（檢偏鏡旋轉(zhuǎn)角度）

二、定性位置：

1、應力測量范圍 ：280nm（一級干涉色）以下

2、分辨率 ：0.2nm

3、光源 ：LED燈

4、電源：AC220V±22V；50Hz±1Hz

5、質(zhì)量（凈重）：21kg

6、外形尺寸（L×b×h）：470mm×450mm×712mm